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晶圓切割為什么要選擇10萬轉(zhuǎn)的氣浮主軸

日期:2025-07-19 17:26
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摘要:<p> <iframe height="300px" width="100%" src="https://v.qq.com/txp/iframe/player.html?vid=s3094r28j0y" allowfullscreen="true"> </iframe> &nbsp;<span style="color:#404040;font-family:quote-cjk-patch, Inter, system-ui, -apple-system, BlinkMacSystemFont, &quot;Segoe UI&quot;, Roboto, &quot;Noto Sans&quot;, Ubuntu, Cantarell, &quot;Helvetica Neue&quot;, Oxygen, &quot;Open Sans&quot;, sans-serif;font-size:16.002px;text-wrap-mode:wrap;background-color:#FFFFFF;">晶圓切割需超高精度與穩(wěn)定性,10萬轉(zhuǎn)氣浮主軸憑借無接觸懸浮技術(空氣軸承支撐),實現(xiàn)1μm跳動精度,避免機械磨損,確保切割邊緣無崩裂。高速旋轉(zhuǎn)下,氣膜自潤滑降低熱變形,內(nèi)置渦流冷卻系統(tǒng)有效散熱,延長主軸壽命。其剛性結(jié)構(gòu)適配超薄刀片,提升切割效率與晶圓良率,是半導體行業(yè)高精度加工的核心部件。</span> </p>

 晶圓切割需超高精度與穩(wěn)定性,10萬轉(zhuǎn)氣浮主軸憑借無接觸懸浮技術(空氣軸承支撐),實現(xiàn)1μm跳動精度,避免機械磨損,確保切割邊緣無崩裂。高速旋轉(zhuǎn)下,氣膜自潤滑降低熱變形,內(nèi)置渦流冷卻系統(tǒng)有效散熱,延長主軸壽命。其剛性結(jié)構(gòu)適配超薄刀片,提升切割效率與晶圓良率,是半導體行業(yè)高精度加工的核心部件。

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